Chemieversorgungssysteme - hochmodern und sicher
Die CHEM'BOT-Produktfamilie umfasst hochmoderne Flüssig-Versorgungssysteme. Sie liefern Vorläuferchemikalien an Bubbler oder Verdampfer, DLI-Einheiten oder integrierte Puffertanks. CHEM’BOT‘s versorgen beliebige point-of-use. Jedes der Systeme verfügt über eine bewährte und durchdachte Steuereinheit für eine umfassende Überwachung und unkomplizierte Prozesssteuerung. Die Benutzeroberfläche ist übersichtlich, ermöglicht eine intuitive Bedienung und gewährleistet somit eine sichere Handhabung. CHEM'BOT‘s eignen sich für die Versorgung von Einzel- und Mehrfach point-of-use und sind damit die perfekte Wahl für Lab oder Fab.
CHEM'BOT ist in drei Grundversionen (SMART, PRO, EXPERT) erhältlich, die unterschiedliche Prozessanforderungen und Budgets erfüllen. Darüber hinaus kann das System durch eine Vielzahl von verfügbaren Optionen sehr genau an spezifische Anforderungen angepasst werden.
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General Features
Der CHEM'BOT wird entsprechend höchster Qualitätsstandards entworfen und gebaut, um so den hohen Anforderungen unserer Kunden gerecht zu werden. In erster Linie für den Einsatz in der Halbleiterindustrie hergestellt, eignet sich der CHEM'BOT jedoch auch für viele andere Branchen und Anwendungen.
Ultra high purity components |
Easy to maintain |
Highest safety |
Fully automated |
Leak protection |
Redundant design |
| SMART Features | PRO Features | EXPERT Features |
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Passend für alle Chemikalien und Anforderungen
Die CHEM'BOT-Familie deckt alle gängigen Behälter ab - ganz gleich ob kleine oder mehrere hundert Liter große BULK-Behälter. Der CHEM'BOT kann auf die eingesetzte Chemikalie, den Verbrauch und den Prozess zugeschnitten werden.
Das System arbeitet mit folgenden Materialien:
DEZn, TMAl, TMGa, TBAs, TPB, TEB, DADI, HMDSO, HCDS, TCS, TEOS, SO2, TEMAHf, TDMATi, TDMASn, M-DEOS, DEMS, OMCTS, BCHD, DIPAS, BDEAS, BTBAS, TiCl4, Hexane, Pyridine, ZAC, CpZr und vielen anderen, einschließlich schwerflüchtiger Monomere und organischer Vorläufer
Fire Protection - Leak Containment and Abatement System (LCAS)
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In zahlreichen Prozessen werden sog. energetische Materialien wie z.B. pyrophore Stoffe verwendet. Pyrophore Stoffe entzünden sich spontan an Luft und bergen daher ein enormes Brandrisiko. Zur Eindämmung dieses Risikos bietet SEMPA das Leak Containment and Abatement System (LCAS) an, das einen Leckage-Eindämmungs- und einen Leckage-Entsorgungskomplex umfasst. LCAS ist ein in sich geschlossenes System, das mit CHEM'BOT oder VAPOR'BOT kombiniert werden kann und die Atmosphäre innerhalb des hermetisch verschlossenen BOT‘s überwacht und steuert. Im Fall eines Flüssigkeits- oder Dampflecks werden alle ausgetretenen pyrophoren, metallorganischen Stoffe ohne Feuer, Beschädigung oder Partikelkontamination sicher verarbeitet – für maximale Risikominimierung und zur Vermeidung von Produktionsunterbrechungen. LCAS wurde gemeinsam mit unserem Partner Basis Solutions LLC entwickelt. |
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