CHEM'BOT

Sichere Chemieversorgungssysteme

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Chemieversorgungssysteme - hochmodern und sicher

Die CHEM'BOT-Produktfamilie umfasst hochmoderne Flüssig-Versorgungssysteme. Sie liefern Vorläuferchemikalien an Bubbler oder Verdampfer, DLI-Einheiten oder integrierte Puffertanks. CHEM’BOT‘s versorgen beliebige point-of-use. Jedes der Systeme verfügt über eine bewährte und durchdachte Steuereinheit für eine umfassende Überwachung und unkomplizierte Prozesssteuerung. Die Benutzeroberfläche ist übersichtlich, ermöglicht eine intuitive Bedienung und gewährleistet somit eine sichere Handhabung. CHEM'BOT‘s eignen sich für die Versorgung von Einzel- und Mehrfach point-of-use und sind damit die perfekte Wahl für Lab oder Fab.

CHEM'BOT ist in drei Grundversionen (SMART, PRO, EXPERT) erhältlich, die unterschiedliche Prozessanforderungen und Budgets erfüllen. Darüber hinaus kann das System durch eine Vielzahl von verfügbaren Optionen sehr genau an spezifische Anforderungen angepasst werden.

 

 

General Features

Der CHEM'BOT wird entsprechend höchster Qualitätsstandards entworfen und gebaut, um so den hohen Anforderungen unserer Kunden gerecht zu werden.  In erster Linie für den Einsatz in der Halbleiterindustrie hergestellt, eignet sich der CHEM'BOT jedoch auch für viele andere Branchen und Anwendungen. 

 

Ultra high purity components

Easy to maintain

Highest safety

   

Fully automated

Leak protection

Redundant design

SMART FeaturesPRO FeaturesEXPERT Features
 
  • Automated liquid precursor feed system
  • Safe supply of dangerous (toxic or pyrophoric) precursor chemicals
  • Used in all CVD, ALD processes
  • Cost optimized design
 
 
  • Fully automated dual supply vessel design
  • Safest setup for energetic and toxic precursor substances
  • Uninterrupted supply by automated switch over
  • Production oriented system design
 
 
  • Fully automated design with buffer tank for seamless precursor feed
  • Build according SEMI S2 standards
  • Dead space optimized design with highest redundancy
  • Designed for high demanding semiconductor fab operation
 

Passend für alle Chemikalien und Anforderungen

Die CHEM'BOT-Familie deckt alle gängigen Behälter ab. Ganz gleich ob kleine oder mehrere hundert Liter BULK-Behälter. Der CHEM'BOT kann auf die eingestzte Chemikalie, den Verbrauch und den Prozess zugeschnitten werden.

Das System arbeitet mit vielen Materialien: 

DEZn, TMAl, TMGa, TBAs, TPB, TEB, DADI, HMDSO, HCDS, TCS, TEOS, SO2, TEMAHf, TDMATi, TDMASn, M-DEOS, DEMS, OMCTS, BCHD, DIPAS, BDEAS, BTBAS, TiCl4, Hexane, Pyridine, ZAC, CpZr  und vielen anderen, einschließlich schwerflüchtiger Monomere und organischer Vorläufer

Fire Protection - Leak Containment and Abatement System (LCAS)

 

In zahlreichen Prozessen werden sog. energetische Materialien wie z.B. pyrophore Stoffe verwendet. Pyrophore Stoffe entzünden sich spontan an Luft und bergen daher ein enormes Brandrisiko. Zur Eindämmung dieses Risikos bietet SEMPA das Leak Containment and Abatement System (LCAS) an, das einen Leckage-Eindämmungs- und einen Leckage-Entsorgungskomplex umfasst.

LCAS ist ein in sich geschlossenes System, das mit CHEM'BOT oder VAPOR'BOT kombiniert werden kann und die Atmosphäre innerhalb des hermetisch verschlossenen BOT‘s überwacht und steuert. Im Fall eines Flüssigkeits- oder Dampflecks werden alle ausgetretenen pyrophoren, metallorganischen Stoffe ohne Feuer, Beschädigung oder Partikelkontamination sicher verarbeitet – für maximale Risikominimierung und zur Vermeidung von Produktionsunterbrechungen.

LCAS wurde gemeinsam mit unserem Partner Basis Solutions LLC entwickelt.

 

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