Chemieversorgungssysteme - hochmodern und sicher
ie CHEM'BOT-Produktfamilie umfasst hochmoderne Flüssig-Versorgungssysteme. Sie liefern Vorläuferchemikalien an Bubbler oder Verdampfer, DLI-Einheiten oder integrierte Puffertanks. CHEM’BOT‘s versorgen beliebige point-of-use. Jedes der Systeme verfügt über eine bewährte und durchdachte Steuereinheit für eine umfassende Überwachung und unkomplizierte Prozesssteuerung. Die Benutzeroberfläche ist übersichtlich, ermöglicht eine intuitive Bedienung und gewährleistet somit eine sichere Handhabung. CHEM'BOT‘s eignen sich für die Versorgung von Einzel- und Mehrfach point-of-use und sind damit die perfekte Wahl für Lab oder Fab.
CHEM'BOT ist in drei Grundversionen (SMART, PRO, EXPERT) erhältlich, die unterschiedliche Prozessanforderungen und Budgets erfüllen. Darüber hinaus kann das System durch eine Vielzahl von verfügbaren Optionen sehr genau an spezifische Anforderungen angepasst werden.
CHEM’BOT - General Features
CHEM’BOT BULK - High-Volume Manufacturing Supply System
CHEM'BOT EnMat - Safely Managing Energetic Materials
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General Features
Der CHEM'BOT wird entsprechend höchster Qualitätsstandards entworfen und gebaut, um so den hohen Anforderungen unserer Kunden gerecht zu werden. In erster Linie für den Einsatz in der Halbleiterindustrie hergestellt, eignet sich der CHEM'BOT jedoch auch für viele andere Branchen und Anwendungen.
Ultra high purity components |
Easy to maintain |
Highest safety |
Fully automated |
Leak protection |
Redundant design |
| SMART Features | PRO Features | EXPERT Features |
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Passend für alle Chemikalien und Anforderungen
Die CHEM'BOT-Familie deckt alle gängigen Behälter ab - ganz gleich ob kleine oder mehrere hundert Liter große BULK-Behälter. Der CHEM'BOT kann auf die eingesetzte Chemikalie, den Verbrauch und den Prozess zugeschnitten werden.
Das System arbeitet mit folgenden Materialien:
DEZn, TMAl, TMGa, TBAs, TPB, TEB, DADI, HMDSO, HCDS, TCS, TEOS, SO2, TEMAHf, TDMATi, TDMASn, M-DEOS, DEMS, OMCTS, BCHD, DIPAS, BDEAS, BTBAS, TiCl4, Hexane, Pyridine, ZAC, CpZr und vielen anderen, einschließlich schwerflüchtiger Monomere und organischer Vorläufer
CHEM’BOT BULK – Versorgungssystem für die Großserienfertigung
CHEM’BOT BULK ist ein Chemieversorgungssystem für anspruchsvolle Anwendungen in der Halbleiterindustrie. Das System wurde für die sichere und zuverlässige Zufuhr von Vorläufersubstanzen entwickelt und unterstützt die kontinuierliche Materialzufuhr mit dem Ziel einer unterbrechungsfreien Produktion. Dank seines flexiblen Aufbaus lässt sich CHEM’BOT BULK an unterschiedliche Prozessanforderungen, Durchflussraten und Verbrauchsvolumina anpassen. Auch die Größe der verwendeten Behälter kann entsprechend den jeweiligen Anforderungen konfiguriert werden. |
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Hohe Verfügbarkeit durch zuverlässiges Systemdesign
CHEM’BOT BULK nutzt eine dezentrale Steuerung und Datenverarbeitung in Kombination mit einem redundanten Aufbau, um eine hohe Systemverfügbarkeit zu gewährleisten.
Gleichzeitig wurde das System bewusst einfach und übersichtlich gestaltet. Auf unnötige Komponenten wird verzichtet, wodurch der Wartungsaufwand reduziert und die Systemverfügbarkeit weiter erhöht wird. Der übersichtliche Aufbau erleichtert zudem den Betrieb und die Fehlerbehebung.Effiziente Nutzung von Vorläuferchemikalien (Precursor)
Mit der „Smart Vessel Empty Detection“-Funktion ermöglicht CHEM’BOT BULK eine besonders gründliche Entleerung des Precursor-Vorratsbehälters. Das System kann den Behälter bis unterhalb des Niveaus des Tauchrohrs entleeren und trägt so dazu bei, die Ausnutzung der wertvollen Vorläuferchemikalie zu maximieren.
Sicherheit für anspruchsvolle Prozesse
CHEM’BOT BULK wurde unter Berücksichtigung der Sicherheitsanforderungen für pyrophore Vorprodukte entwickelt. Das Sicherheitskonzept umfasst geschweißte Verbindungen, oben angebrachte Tauchrohre, automatische Druckentlastungsmechanismen sowie die Überwachung pyrophorer Risiken mittels Rauchsensoren. Integrierte Sicherheitsprotokolle stellen sicher, dass Ventile, Leitungen und Anschlüsse im Falle eines Zwischenfalls in einen sicheren Zustand versetzt werden.
Automatisierte Abläufe für einen sicheren Betrieb
Kritische Vorgänge wie der Behälterwechsel, die Systemqualifizierung und die Erstinbetriebnahme werden durch automatisierte Programme in Kombination mit angeleiteten manuellen Maßnahmen unterstützt. Ein zentrales Dashboard liefert Informationen zum aktuellen Systemstatus, einschließlich Schnittstellensignalen, Füllständen der Vorläufer und allgemeinen Betriebsbedingungen. Wenn ein manueller Eingriff erforderlich ist, führt die Bedienoberfläche den Benutzer mit übersichtlicher Navigation und Schritt-für-Schritt-Anleitungen durch die notwendigen Vorgänge.
Modularer Aufbau und Skalierbarkeit
Das modulare Konzept von CHEM’BOT BULK ermöglicht eine Anpassung und Erweiterung entsprechend den individuellen Kundenanforderungen. Der geplante Plug-and-Play-Upgrade-Pfad ermöglicht eine Skalierung des Systems, beispielsweise bei einer steigenden Anzahl angeschlossener Werkzeuge, einem höheren Vorläuferverbrauch oder wachsenden Anforderungen an Verfügbarkeit und Redundanz. Auch die Systemkonfiguration ist flexibel: Zwei Vorläuferbehälter können in separaten Schränken untergebracht und über eine zentrale Steuerung gesteuert werden. Alternativ kann für jeden Schrank ein separater Schaltschrank bereitgestellt werden.
Optionen für individuelle Anforderungen
CHEM’BOT BULK kann mit verschiedenen Optionen ergänzt werden. Dazu gehören eine geregelte Druckversorgung und Filterung für Einblas- und Spülgas sowie ein Entgaser, der gelöstes Einblasgas mittels Vakuum aus der Chemikalie entfernt.
Zur Überwachung des Vorratsbehälters stehen Waagen zur präzisen gewichtsbasierten Ermittlung der verbleibenden Chemikalienmenge sowie ein am Ventil montierter Füllstandssensor zur Verfügung. Zu den weiteren verfügbaren Optionen gehören pneumatische Ventile für den Vorratsbehälter, Lösungen zur Brand-, Gas-, Leckage- und Koaxialrohrüberwachung sowie die Kühlung des Vorratsbehälters.
Für den Fall eines Stromausfalls kann zusätzlich eine zweite Stromversorgung über ein USV-Netzwerk bereitgestellt werden.
ANFORDERUNGEN AN DIE VERSORGUNG
| Dimensions | 2 Pcs x (2000 x 1600 x 2400 mm) |
| Weight | 2 x Approx. 500 kg |
| Power | 110-240V AC / 50-60HZ |
| Push Gas | ¼” female VCR |
| Purge Gas | ¼” female VCR |
| Pneumatic | ¼" compression fitting |
| Vacuum | ½” female VCR |
| Exhaust | Ø DN 4" (101.6 mm) Buttweld |
| Chemical Outlet(s) | According to customer flow requirement |
CHEM'BOT EnMat - Safely Managing Energetic Materials
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Energetic materials like pyrophorics such as Trimethylaluminum (and most other metal organics) used in numerous processes. However, pyrophoric substances do spontaneously ignite on air, hence carry an intrinsically huge risk for fire and potentially dangerous situation while they are used. There have been already too many even fatal incidents in the electronics industry using such precursor materials. Together with our partner Basis Solutions LLC we have designed a fully integrated self-contained safety control system which monitors and controls the environment within the CHEM’BOT, while keeping a minimum footprint of the cabinet. In the event of a liquid leak, CHEM‘BOT EnMat will contain and abate any leaked pyrophoric metal organic without fire, damage, or particle contamination to the fab. Thus, CHEM’BOT EnMat provides maximum incident mitigation and secures continuous production. |
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