Forschung & Entwicklung

Innovative Lösungen aus Dresden

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Wir lösen die Herausforderungen von morgen

Das Innovationslabor SEMPA LAB ermöglicht gemeinsame Entwicklungsprojekte mit Kunden (JDP), wodurch die Zeit bis zur Markteinführung verkürzt und ein schnelleres und z.B. tieferes Verständnis für den Einsatz neuartiger Präkursoren erlangt werden kann.

 

 

Einzigartige Möglichkeiten durch SEMPA LAB

Lösungen für neue Technologieanforderungen zu finden ist eine Kernkompetenz unseres Unternehmens. Für die eigene Entwicklung und zur Unterstützung unserer Kunden haben wir ein in der Branche einzigartiges Innovationslabor eingerichtet. Damit ist es möglich, Medienversorgungssysteme der nächsten Generation zu entwerfen, zu testen, zu prototypisieren und zu optimieren.

Heutzutage haben High-Tech-Industrien einen konstanten Bedarf an neuartigen Materialien, die typischerweise mit Hilfe von Dampfabscheidungstechniken wie CVD, PECVD, ALD, Epitaxie und anderen Schichtabscheidungstechnologien hergestellt werden. Die Eigenschaften der dafür notwendigen neuartigen Präkursoren sind in vielen Fällen noch nicht vollständig bekannt. Häufig sind diese Chemikalien sehr gefährlicher Natur oder müssen unter besonderen Bedingungen gehandhabt werden. SEMPA LAB bietet die Möglichkeit, mit solchen Verbindungen in einer sicheren Umgebung zu arbeiten.

 

SEMPA LAB ermöglicht:

  • Verdampfungsstudien und Design von Verdampfern für neuartige flüssige und feste Präkursoren
  • Entwurf und Test von BULK-Lösungen
  • Materialkompatibilitätstests
  • Optimierung von Wartungs- und Spülprozessen
  • Umgang mit sehr anspruchsvollen Ausgangsmaterialien, z.B.
    • Pyrophore Materialien
    • Korrosive Materialien
    • anorganische und organische Substanzen
    • und weitere Möglichkeiten

 

Beispiele

Trimethylaluminium (TMAl) - Verdampfer mit hoher Durchflussrate

Praxisberichten zufolge können die sehr reaktiven Eigenschaften von TMAl zu durch Partikel verstopften Leitungen führen und damit ernsthafte Sicherheitsprobleme verursachen. Deshalb wurden im SEMPA LAB intensive Studien zum Umgang mit TMAl in direkten Flüssigkeitsinjektionssystemen durchgeführt. Insbesondere bei Abscheideprozessen, die sehr hohe Verdampfungsraten erfordern, sind die Anforderungen an die Anlagen sehr hoch. Basierend auf unseren detaillierten Studien konnte ein optimal funktionierendes Produkt entwickelt werden - die VAPOR'BOT-Verdampferfamilie für pyrophore Präkursoren. Dieses System optimiert die Verdampfung und verhindert Partikelbildung und die damit verbundenen Ausfallzeiten.

Einsatz neuartiger Materialien mit niedrigem Dampfdruck

Viele neuartige Präkursoren, ob anorganisch oder organisch, weisen einen sehr niedrigen Dampfdruck auf. Die Verdampfung dieser Materialien wird damit zu einer Herausforderung, ebenso das Spülen der Leitungen vor dem Austausch der Quellzylinder. Um zu verhindern, dass das Wartungspersonal mit gefährlichen Substanzen in Kontakt kommt, ist eine gründliche Reinigung des Versorgungssystems essentiell. Im SEMPA LAB wurden umfangreiche Studien für verschiedene Klassen von Präkursoren durchgeführt. Zum Spülen wurden entweder Inertgase oder geeignete Lösungsmittel verwendet. Aufgrund der gewonnenen Erkenntnisse können unsere CHEM'BOT-Flüssigkeitsabgabesysteme speziell an derartige Präkursoren angepasst werden. Damit sind höchste Betriebszeiten und eine sichere Handhabung für das Bedienpersonal gewährleistet.

 

Derzeit geförderte Forschungsaktivitäten

  • ATOPLOT

    Funding Program

    H2020-EU.3. - PRIORITY 'Societal challenges

    H2020-EU.2.1. - INDUSTRIAL LEADERSHIP - Leadership in enabling and industrial technologies

    Topic

    EIC-FTI-2018-2020 - Fast Track to Innovation (FTI)

    Improved technology for 3D nanoprinting

    Nanolithography comprises a growing field of techniques within nanotechnology concerning the engineering of structures on a nanometre scale. The field is of particular interest to computer engineering, providing experts the opportunity to create super-high density microprocessors and memory chips. Among the biggest market challenges in the field is reducing costs and time spent on the prototyping and fabrication process as well as being able to utilise a broader range of materials. The EU-funded ATOPLOT project aims to address those challenges and improve the capabilities of the ATLANT3D Nanofabricator for 3D nanoprinting technology.

    Funding Code
    ID: 950785

    Funding period
    1 May 2020 to: 30 April 2022

     
  • Hybrid CVD (SME innovative)

    Funding Program
    SME innovative

    Topic
    Development of specific evaporation technology for deposition of inoraganic and organic precursors with very low vapor pressures

    Funding Code
    13XP5052C

    Funding period
    01.07.2018 – 30.06.2021

     

     

  • SimPerm (SAB EFRE)

    Funding Program
    SAB EFRE-technology funding

    Topic
    Measurement system for simultaneous measuremenr of OTR (oxygen transmission rate) and WVTR (water vapor transmission rate) of ultra barrier films

    Funding Code
    100346447

    Funding period
    01.09.2018 – 31.08.2021

     

     

  • ALP (SAB EFRE)

    Funding Program
    SAB EFRE-Technology funding

    Topic
    Atomic Layer Processing

    Funding Code
    100341240

    Funding period
    01.10.2018 – 30.09.2021

     
  • Origami (InterSpiN)

    Funding Program
    InterSpiN – Internationalization of leading edge clusters, future projects and similar networks

    Topic
    Innovations using organic 3D electronics – accelarated barrier testing

    Funding Code
    03INT509BJ

    Funding period
    01.02.2018 – 31.01.2021

     
  • KoReMo (Federal ministry of science)

    Funding Program
    Photovoltaic program of the federal ministry of science

    Topic
    Cost reduction and improve efficiency of resources through novel delivery concepts for metal organic precursors for the epitaxy of highest efficient III/V solar cells

    Funding Code
    0324073B

    Funding period
    01.03.2017 – 31.08.2020

     

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