Forschung & Entwicklung

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Das Innovationslabor SEMPA LAB ermöglicht gemeinsame Entwicklungsprojekte mit Kunden (JDP), wodurch die Zeit bis zur Markteinführung verkürzt und ein schnelleres und z.B. tieferes Verständnis für den Einsatz neuartiger Präkursoren erlangt werden kann.

Lösungen für neue Technologieanforderungen zu finden ist eine Kernkompetenz unseres Unternehmens. Für die eigene Entwicklung und zur Unterstützung unserer Kunden haben wir ein in der Branche einzigartiges Innovationslabor eingerichtet. Damit ist es möglich, Medienversorgungssysteme der nächsten Generation zu entwerfen, zu testen, zu prototypisieren und zu optimieren.

Heutzutage haben High-Tech-Industrien einen konstanten Bedarf an neuartigen Materialien, die typischerweise mit Hilfe von Dampfabscheidungstechniken wie CVD, PECVD, ALD, Epitaxie und anderen Schichtabscheidungstechnologien hergestellt werden. Die Eigenschaften der dafür notwendigen neuartigen Präkursoren sind in vielen Fällen noch nicht vollständig bekannt. Häufig sind diese Chemikalien sehr gefährlicher Natur oder müssen unter besonderen Bedingungen gehandhabt werden. SEMPA LAB bietet die Möglichkeit, mit solchen Verbindungen in einer sicheren Umgebung zu arbeiten.

SEMPA LAB ermöglicht:

• Verdampfungsstudien und Design von Verdampfern für neuartige flüssige und feste Präkursoren
• Entwurf und Test von BULK-Lösungen
• Materialkompatibilitätstests
• Optimierung von Wartungs- und Spülprozessen
• Umgang mit sehr anspruchsvollen Ausgangsmaterialien, z.B.
  • Pyrophore Materialien
  • Korrosive Materialien
  • anorganische und organische Substanzen
  • und weitere Möglichkeiten

Beispiele

Trimethylaluminium (TMAl) - Verdampfer mit hoher Durchflussrate

Praxisberichten zufolge können die sehr reaktiven Eigenschaften von TMAl zu durch Partikel verstopften Leitungen führen und damit ernsthafte Sicherheitsprobleme verursachen. Deshalb wurden im SEMPA LAB intensive Studien zum Umgang mit TMAl in direkten Flüssigkeitsinjektionssystemen durchgeführt. Insbesondere bei Abscheideprozessen, die sehr hohe Verdampfungsraten erfordern, sind die Anforderungen an die Anlagen sehr hoch. Basierend auf unseren detaillierten Studien konnte ein optimal funktionierendes Produkt entwickelt werden - die VAPOR'BOT-Verdampferfamilie für pyrophore Präkursoren. Dieses System optimiert die Verdampfung und verhindert Partikelbildung und die damit verbundenen Ausfallzeiten.

Einsatz neuartiger Materialien mit niedrigem Dampfdruck

Viele neuartige Präkursoren, ob anorganisch oder organisch, weisen einen sehr niedrigen Dampfdruck auf. Die Verdampfung dieser Materialien wird damit zu einer Herausforderung, ebenso das Spülen der Leitungen vor dem Austausch der Quellzylinder. Um zu verhindern, dass das Wartungspersonal mit gefährlichen Substanzen in Kontakt kommt, ist eine gründliche Reinigung des Versorgungssystems essentiell. Im SEMPA LAB wurden umfangreiche Studien für verschiedene Klassen von Präkursoren durchgeführt. Zum Spülen wurden entweder Inertgase oder geeignete Lösungsmittel verwendet. Aufgrund der gewonnenen Erkenntnisse können unsere CHEM'BOT-Flüssigkeitsabgabesysteme speziell an derartige Präkursoren angepasst werden. Damit sind höchste Betriebszeiten und eine sichere Handhabung für das Bedienpersonal gewährleistet.

Derzeit geförderte Forschungsaktivitäten