Referenzen

Europäische Halbleiterfabrik

• 2 Trailer Supply
• 4 Vessel Supply (500-1000l)
• 8 Bundle Supply
• 200 GAS‘BOT EXPERT
• 20 CHEM‘BOT EXPERT
• 10 SOLVENT‘BOT EXPERT
• > 300 VMB
• > 120 VMP
• 25 DVB

TMA/TMGa-System zur Abgabe großer Mengen

• Für ALD, CVD, MOCVD, MOVPE, EPI und andere Gasphasenprozesse
• Von kleinen Mengen bis zu großen Verbrauchsvolumina
• Breites Spektrum an Chemikalien, darunter kritische Chemikalien (TMA, TMGa, TCS, TDMAS)
• Branchen: Halbleiter, Photovoltaik, Chemie, Pharma, Batterien
• Referenzen in Europa und den USA mit starkem Schwerpunkt auf der Halbleiterindustrie

CHEM’BOT BULK – Versorgungssystem für die Großserienfertigung

• Hohe Verfügbarkeit durch zuverlässiges Systemdesign
• Effiziente Nutzung von Vorläuferchemikalien (Precursor)
• Sicherheit für anspruchsvolle Prozesse
• Automatisierte Abläufe für einen sicheren Betrieb
• Modularer Aufbau und Skalierbarkeit

PE-ALD: Kombiniertes Bubbler- und DLI-System

• Verteilerplatte für 8 Verdampferstäbe

Solarfabrik Deutschland

Supply CONTAINER‘BOT – die externe Gasraumlösung

Keinen Platz im Gebäude für einen Gasraum? Die Lösung ist unser Supply CONTAINER‘BOT – ein anschlussfertiger Container, ausgestattet mit Gasversorgungs- und Verteilsystemen, eigener Spülgasversorgung sowie allen notwendigen Sicherheitssystemen. Damit ist er für nahezu alle Prozessgase geeignet.

Der CONTAINER‘BOT verfügt über eine Heizung sowie Lüftungsanlagen und ist damit ebenso temperierbar wie eine in-House-Lösung.

Fermentation

Projektgröße:             800.000,00 €
Dauer:                            ca. 6 Monate
Dokumentation:        100% Schweißnahtdokumentation mit
                                          Endoskopie
GMP / FDA:                   Konformer Aufbau
Besonderheit:            Vormontage am Standort Dresden mit FAT
                                           Zerlegen und Montage vor Ort

Pharmazie

Technische Ausrüstung Medienversorgung eines Pharma-Produktionsgebäudes für injizierbare Produkte der Neurologie und Onkologie sowie eines Laborgebäudes

Gesamtprojekt > 200 Mio. €; Projektzeitraum 2018 bis 2022

Montageplanung, 3-D-Konstruktion, Projektabwicklung, Lieferung, Montage, Inbetriebnahme und Qualifizierung der Medienversorgung

• Lieferung von Edelstahlvorratsbehältern mit einem Volumen von bis zu 25.000 Litern
• Ausrüstung mit Wärmetauschern zur WFI-Bereitstellung mit einer Leistung von bis zu 20 kW
• Reinrauminstallation von Entnahmestellen und Zapfstellen
• Hook up Installation der eingebrachten Pharma-Anlagen und Geräte
• Installation PW-Medium über Rohrbrücke zum Laborgebäude
• Ausrüstung Laborgebäude mit PW und Reinstdampf
• Technische Umsetzung von Spezialanwendungen

H₂Demo – Wasserstoff direkt aus Sonnenlicht

• Entwicklung und Fertigung eines hochautomatisierten Versorgungssystems im Rahmen des Forschungsprojekts H₂Demo
• Ausgelegt für die Versorgung eines neu entwickelten Hochdurchsatz-Epitaxiereaktors
• Automatisierte Bereitstellung von bis zu 23 verschiedenen Precursoren
• Anlagenabmessungen von über 5 m Länge, 1,3 m Breite und mehr als 2 m Höhe
• Integration von mehr als 60 Mass Flow Controllern und Pressure Controllern sowie über 100 pneumatischen Komponenten

ATOPLOT – Präzise Versorgung für Atomic-Layer 3D Printing

• Entwicklung und Fertigung der Gas- und Precursorversorgung für den ATOPLOT Nanofabricator
• Unterstützung eines hochpräzisen, lokalen ALD-Prozesses für die additive Fertigung auf Mikro- und Nanoskala
• Integration der SEMPA Versorgungstechnik in den im Forschungsprojekt aufgebauten und getesteten Prototypen
• Beitrag zur erfolgreichen Demonstration von Atomic Layer Additive Manufacturing (ALAM) mit verschiedenen Materialien und funktionalen Strukturen