VAPOR'BOT

Zuverlässige und effiziente Verdampfungslösung

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Verdampfungssysteme - zuverlässig und effizient

 

Alle Gasphasenprozesse wie CVD, ALD oder EPI erfordern die Prekursoren in der Gasphase. Die VAPOR'BOT-Produktfamilie deckt dieses breite Anwendungsspektrum ab. Die angewandten Verdampfungstechnologien umfassen Verdampfer, Bubbler-Systeme oder DLI-Einheiten (Direct Liquid Injection). Ganz gleich, ob extrem hohe Verdampfungsraten, ultrastabile Konzentrationen oder höchste Flexibilität bei den Durchflussraten benötigt werden - die VAPOR'BOT‘s bieten für jede Anwendung die passende Lösung.

VAPOR'BOT ist in drei Grundversionen erhältlich (SMART, PRO, EXPERT), die unterschiedliche Prozessanforderungen und Budgets erfüllen. Darüber hinaus kann das System durch eine Vielzahl verfügbarer optionaler Funktionen sehr genau an spezifische Anforderungen angepasst werden.

 

 

 

General Features

SMART FeaturesPRO FeaturesEXPERT Features
 
  • Automated bubbler based evaporation system
  • Safe evaporation of dangerous (toxic or pyrophoric) precursor chemicals
  • Used in all CVD, ALD processes
  • Cost optimized design
 
 
  • Fully automated system design
  • Safest setup for energetic and toxic precursor substances
  • Uninterrupted supply by automated refill of vaporizer
  • Production oriented system design
 
 
  • Fully automated Direct Liquid Injection System
  • Direct Vapor generation for highest throughput
  • Used where bubbler bases systems reach it’s limits
  • Central precursor vapor fab supply to multiple points of use is
 

 

Configure your VAPOR'BOT

Many options are available to adapt the system exactly to your application or the specific requirements of the precursor.  

 Unsurpassed SafetyPrecursor specific Solutions

 
  • SEMI S2 certification
  • Design according to ATEX where applicable
  • Coax tubing and monitoring 
  • LCAS (Liquid Containment and Abatement System) for pyrophoric metalorganics
 
 
  • Vessel, panel, trace heating and cooling
  • High alloy steel design for corrosive precursors
  • Concentration measurement
  • Solid precursor solutions
 
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