VAPOR'BOT

Alle Gasphasenprozesse wie CVD, ALD oder EPI erfordern die Prekursoren in der Gasphase. Die VAPOR'BOT-Produktfamilie deckt dieses breite Anwendungsspektrum ab. Die angewandten Verdampfungstechnologien umfassen Verdampfer, Bubbler-Systeme oder DLI-Einheiten (Direct Liquid Injection). Ganz gleich, ob extrem hohe Verdampfungsraten, ultrastabile Konzentrationen oder höchste Flexibilität bei den Durchflussraten benötigt werden - die VAPOR'BOT‘s bieten für jede Anwendung die passende Lösung.

VAPOR'BOT ist in drei Grundversionen erhältlich (SMART, PRO, EXPERT), die unterschiedliche Prozessanforderungen und Budgets erfüllen. Darüber hinaus kann das System durch eine Vielzahl verfügbarer optionaler Funktionen sehr genau an spezifische Anforderungen angepasst werden.

• SEMI S2 certification
• Design according to ATEX where applicable
• Coax tubing and monitoring 
• LCAS (Liquid Containment and Abatement System) for pyrophoric metalorganics

• Vessel, panel, trace heating and cooling
• High alloy steel design for corrosive precursors
• Concentration measurement
• Solid precursor solutions

Kontaktieren Sie uns für die optimale Lösung für Ihren Prozess.

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